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            射出成型主機
             
            塑料處理系統
             
            模具檢控系統
             
            成型品取出統系
             
            製品自動化系統
             
               
             
            粉體儲存輸送配料系統(IBC)
             
            粒體儲存輸送配料系統
             
            全自動高速吹塑成型機
             
            蒸汽殺菌系統
             
               
             
            主機
             
            週邊
             
               
             
            清洗
             
            光阻塗佈
             
            曝光
             
            顯影/蝕刻
             
               
             
            JaviX
             
             

            ◎晶圓清洗(顯影)機/藍膜清洗機(SPIN CLEANER/DEVELOPER)

            ? MODEL:SWT(手動-桌上型)

            ? W400mm×D450mm×H420mm

            ? 適用尺寸:2”-6”Wafer

            ? 基本規格:

            • 外觀材質:P.P.以上耐異丙醇、丙酮溶濟材質。
            • 吸盤:1組
            • 噴嘴:3組(異丙醇*1、丙酮*1、空噴嘴*1)
            • 排風系統
            • 排廢液系統
            • 馬達:AC伺服馬達(轉速:10-6000 RPM)
            • 固定式噴嘴:1(N2)
            • 開蓋方式:手動上掀式
            • 噴嘴頭採塑膠材質,耐ACE
            • 排放口濾網材質
            • 壓力桶設置低水位sensor、自動補液
            • 噴嘴上方設計安全裝置,避免人員任意調整
            • 設定安全裝置,生產中開蓋會自動停止

            ? MODEL:SWA(自動-落地型)

            ? L1175mm×D700mm×H1100mm

            ? 設備概要:

            ? 適用尺寸:2”-12”Wafer基材

            ? 基本規格:

            • 外觀材質:本體以SUS304亮面板材質組合而成。
            • 設備骨架:鋁擠型骨架組合,架構強固。
            • 盆罩:SUS 304亮面鋼板Cup盆罩結構。
            • 盆罩掀蓋:氣缸傳動,盆蓋未閉合無法旋轉作動。
            • 吸盤:鋁製吸盤陽極硬化處理,具抗酸鹼功能,吸盤表面平坦。
            • 作業視窗:採透明PVC或玻璃材質,掌握作業情況
            • 排風系統:直接式抽風設計,並同時減低異味
            • 排液系統
            • 馬達:AC Motor(轉速:30~1900 RPM)
            • 擺臂:直徑擺動AC Motor
            • 機臺安全保護

            ? 電控系統:

            • 軟體:PLC可程式自動化控制器
            • 使用操作介面:人機
            • 配方模組:6組配方設定
            • 段數設定:每一配方模組均設7段段數,可設定加速度及時間控制。
             

            ? 密碼設定:可依權限設定密碼保護。

             
             
            總公司地址:臺中市西屯區市政路386號18樓之8 電話:+886-4-22586003 傳真:+886-4-22586002
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            昆山事務所
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