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            射出成型主機
             
            塑料處理系統
             
            模具檢控系統
             
            成型品取出統系
             
            製品自動化系統
             
               
             
            粉體儲存輸送配料系統(IBC)
             
            粒體儲存輸送配料系統
             
            全自動高速吹塑成型機
             
            蒸汽殺菌系統
             
               
             
            主機
             
            週邊
             
               
             
            清洗
             
            光阻塗佈
              -- 半自動塗佈機
            -- 手臂移載式塗佈機
            -- 軌道式移載式塗佈機
              -- 高溫型熱風循環烘箱
              -- 真空烘箱
              -- 真空乾燥機/真空乾燥烘箱
             
            曝光
             
            顯影/蝕刻
             
               
             
            JaviX
             
             

            ◎半自動塗佈機(可規劃1/2/3/4頭塗佈機)(SEMI SPIN COATER)

            ? MODEL:AGS-01A~AGS-04A

            ? 操作程序:人工置放對位中心轉盤上→啟動→真空吸附→基板吸附於轉盤上→ 旋轉開啟→低轉速→中轉速→高轉速→旋轉停止→破真空→人工取件

            ? 設備概要:

            ? 應用範圍:適用基板尺寸:2”-6” Round Wafer基材

            ? 基本規格:

            • 外觀材質:本體以SUS 304亮面板材質組合而成。
            • 設備骨架:烤漆骨架組合,結構堅固。
            • 盆罩:PP製Cup三件式盆罩結構。
            • 吸盤:鋁製吸盤陽極硬化處理,具抗酸鹼功能,吸盤表面平坦。
            • 排風系統:三件式盆罩間接式抽風設計,有效穩定空氣擾流,並同時減低異味可避免背面光阻殘留。
            • 排液系統
            • 馬達:AC Servo Motor(轉速:10~6000 RPM)
            • 真空幫浦:無油式中型真空壓力泵浦
            • 機臺安全保護

            ? 電控系統:

            • 軟體:PLC可程式自動化控制器
            • 使用操作介面:Color Touch Screen,PLC介面整合HMI。
            • 配方模組與段數設定:100組配方,每一配方模組均可設30段段數。
            • 密碼設定:可依權限設定密碼保護。

            ? 選配功能:

            • 光阻自動供料系統
            • 自動供料擺臂
            • 熱板(HOT PLATE)
            • 洗邊裝置(EBR)
            • 背洗裝置(BSR)
            • 廢液回收桶裝置
             
             
            總公司地址:臺中市西屯區市政路386號18樓之8 電話:+886-4-22586003 傳真:+886-4-22586002
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